更新时间：2022-05-06 17:39:11
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内容简介
前言
符号和术语的说明
上篇 扫描电镜的原理与实用分析技术
第1章 光学显微镜和电子显微镜的发展回顾及其成像方式的比较
1.1 光学显微镜的发展简史及其几个主要基本概念
1.2 电子显微镜综述
1.3 国外研制和发展电子显微镜的相关进程和成就
1.4 我国研制、生产电镜历程及发展概况
1.5 几种常见的扫描电镜和小型台式电镜
1.6 电子的基本参数及其与物质的相互作用
参考文献
第2章 扫描电镜的原理和结构
2.1 扫描电镜的原理
2.2 电子枪的束斑和束流
2.3 扫描电镜的放大倍率
2.4 扫描电镜的电子束斑
2.5 镜筒
2.6 电子枪阴极
2.7 电磁透镜
2.8 扫描偏转线圈
2.9 样品仓的外形与内部
2.10 真空压力单位
2.11 低真空和环境扫描电镜
第3章 扫描电镜的主要探测器及其成像
3.1 二次电子和背散射电子信号的收集与显示
3.2 二次电子探测器
3.3 二次电子像的性质
3.4 传统的E-T型二次电子探测器
3.5 光电倍增管
3.6 YAG材料的二次电子探测器及背散射电子探测器
3.7 透镜内二次电子探测器
3.8 环境扫描和低真空电镜的二次电子探测器
3.9 与图像分辨力有关的几个主要因素
3.10 入射的电子束流与束斑直径
3.11 图像的信噪比和灰度
3.12 试样上电流的进出关系
3.13 吸收电子像（AEI）
3.14 扫描电镜图像的几何分辨力与像素
3.15 图像的立体效应和入射束与试样表面的角度关系
3.16 二次电子的电压衬度像
3.17 试样表面的形貌与图像的反差
3.18 焦点深度（景深）
3.19 物镜光栏的选择
3.20 加速电压效应
3.21 背散射电子的探测方式和图像
3.22 阴极荧光像
3.23 电子束感生电流像
3.24 图像处理功能
3.25 扫描透射电子探测器
3.26 电子束减速着陆方式
第4章 扫描电镜的实际操作
4.1 电镜的启动
4.2 试样的安装、更换及停机
4.3 图像的采集
4.4 电镜图像中几种常见的像差
4.5 图像的调焦、消像散和动态聚焦
4.6 屏幕的分割与双放大功能
4.7 电镜图像的不正常现象
4.8 提高图像亮度的几种措施
第5章 试样的制备
5.1 超声清洗和镀膜
5.2 粉体试样
5.3 块状试样
5.4 磁性材料
5.5 生物试样
5.6 制样仪器与工具
5.7 制作和粘贴试样的主要工具和器材
第6章 应用图例
6.1 印制电路板的失效分析和检测
6.2 陶瓷电容端头的硫化银
6.3 微观尺寸的测量
6.4 半导体器件的失效分析
6.5 金属断口分析
6.6 继电器触点的表面分析
6.7 锡晶须的生长
6.8 印制电路板上出现的黑镍现象和镍层腐蚀
6.9 金属膜电阻的失效分析
6.10 陶瓷电容的容量漂移
6.11 电真空器件
6.12 微型电机
6.13 蚊子试样
6.14 VC与EBIC像在半导体器件失效分析中的应用
第7章 电镜的维护与保养
7.1 衬管的拆卸与清洁
7.2 光栏的清洁
7.3 闪烁体的保养
7.4 显示器的保养和维护
7.5 真空系统的维护
7.6 冷却循环水机的维护
7.7 电镜的控制计算机
7.8 与电镜配套的不间断电源
第8章 电镜的安装环境和对实验室的要求
8.1 安装地点的选择
