3.2　二次电子探测器

传统的二次电子探测器（E-T SED）主要是用于收集从试样表面发射出来的二次电子，然后将它们转换成显示屏上的图像信号的重要部件。1956年，英国的史密斯（Smith）在扫描电镜中首先采用光电倍增管的组合来探测二次电子，但是当时的二次电子探测器对SE的收集效率很低，得到的图像信噪比（S/N）很差。后来，埃弗哈特（Everhart）和索恩利（Thornley）两人对这种光电倍增管组合的探测器进行了改进，采取了先让入射进来的二次电子加速到10kV或12kV再打到闪烁体上，并将闪烁体直接贴到光导管的前端，然后再让光信号直接进入光电倍增管的方法。经这样的改进和组合之后，这种二次电子探测器的结构得到了完善和优化，显著地提高了二次电子的接收效率，图像的信噪比显著提高了。因此，现在的人们就把这种改进过的二次电子探测器称为Everhart-Thornley探测器（简称E-T SED），它也就成为当今所有商品扫描电镜中必备的传统二次电子探测器。

近几年来，高分辨力的场发射扫描电镜中不仅都安装有这种二次电子探测器，而且还会加装透镜内（In-lens）或穿过透镜的二次电子探测器（TLD或TL-SED），这又是一种与光电倍增管结合的高效闪烁体的探测器。用这类探测器可以提高二次电子的收集率并能进一步改善图像的信噪比和分辨力，特别是低加速电压时的图像对比度和分辨力都能得到明显提高。环境扫描和低真空或可变真空的电镜一般还会加配专用于环境扫描或在低真空条件下作为采集二次和背散射电子信号的专用探测器。