2.2.1 感光性绝缘树脂

BUM用感光性树脂必须具有下述特点：①具有优异的感光性；②与化学镀铜层（导电层）具有很好的黏结性；③作为层间绝缘层必须具有优良的电绝缘性及介电性能。采用感光性绝缘树脂进行光致法导通孔加工，具有工艺简单、易制作微细孔、孔精度高、设备投资少等优点，制作的绝缘层厚度每层为40～100μm，导电线路线宽为30～100μm，通孔直径为90～150μm，电镀铜层的厚度为15μm。进一步提高感光性绝缘树脂的光刻分辨率、耐热性、与导电层的黏结性等，对于光致成孔类BUM基板实现更高密度的微细互连具有重要意义。

感光性绝缘树脂主要有胶液和干膜两种产品形态。干膜在制作BUM基板时可简化工艺、改进质量，成为今后发展的主流技术。胶液具有下述优点：①涂抹厚度易调易控，可多次涂敷，厚度均匀性好；②对内层电路填埋性好；③可适用于多种涂敷设备；④适合制备多层积层结构；⑤储存期长、性能稳定、价格便宜；⑥适合自动化生产。但它也存在一些缺点：①材料使用率低、膜厚精度难以保证；②易产生针孔、气泡，易受污染；③环境条件要求高、工艺胶复杂；④无法同时两面涂敷。干膜具有下述优点：①膜厚均匀性好，膜内气泡少，异物不易混入；②挥发份少，对环境污染小；③形成的绝缘膜表面平滑，简化了制作工艺；④生产周期短，生产效率高；⑤易于两面同时形成绝缘层膜，生产效率高。存在的缺点包括：①材料价格高、膜厚选择余地小；②线路间和通孔内的填埋性差；③连续生产成本高。表2.16是几种代表性BUM基板用感光性绝缘树脂，表2.17是感光性绝缘树脂的主要性能。

表2.16 代表性BUM基板用感光性绝缘树脂

续表

表2.17 代表性BUM基板用感光性绝缘树脂的主要性能

感光性绝缘树脂在光致成孔过程中通常采用两种显影液，包括水性显影液（醇类水溶液、碱性水溶液等）和有机溶剂显影液。感光性绝缘树脂体系的化学组成不同，所需要的显影液也不同。对于水性显影液，感光性树脂需要含有大量羧基、羟基等亲水性基团；对于有机溶剂显影液，感光性树脂需要含有大量疏水性基团。感光性树脂主要含有主体环氧树脂、光聚合引发剂、光敏增感剂、增韧剂、消泡剂、流平剂、溶剂等。常用的环氧树脂包括双酚A型、苯酚醛型、邻甲酚醛型等。其中，由双酚A型环氧树脂、苯酚醛型环氧树脂及酸性环氧-丙烯酸酯树脂所组成的感光性树脂体系，不但具有优良的光刻工艺性，可以在水性显影液中显影，而且具有优良的黏结性、耐热性及绝缘性等，成为一种广泛使用的感光性绝缘树脂。