致谢

致敬每一位在一线抗击疫情的白衣天使，为了战胜新型冠状病毒肺炎，为了守护每一个普通家庭，你们无畏无惧、不畏生死、舍弃春节一家团聚的机会，你们舍身忘我为民族大义的精神，激励着每一位中国人的心！

致敬每一位在一线奋战的科技工作者，为了打破技术封锁，你们不惧压力、努力奋进，你们用勤劳、智慧和勇气推动中国科技进步的精神，深深地鼓舞着年轻一辈的士气！技术战争的号角已经吹响，我辈必须团结起来，勇往直前，不畏艰难，才能夺取最后的胜利！

感谢所有帮助过我的个人和企业单位，特别是在我的学术和职业发展道路上指导过我的人，无论是短暂的只言片语还是多年的指导。

感谢我的母校西安电子科技大学，特别是微电子学院的老师，是你们孜孜不倦的教导，授予我半导体的知识，带领我进入半导体的世界。

感谢曾经在上海SMIC的领导和同事，特别是谢志峰博士，您除了给我提供在SMIC工作的机会，还在我出版第一本书《集成电路制造工艺与工程应用》时给予我莫大的帮助。也要感谢曾经一起共事的其他领导和同事，万旭东、魏峥颖、王艳生、朱赛亚、马莹、钱俊、赵海、张攀、付丰华、陈福刚、严祥成、吴旭升和赵丽丽等，感谢你们在SMIC工作时给我提供过指导和帮助。在SMIC的工作经验提升了我对半导体工艺制程的认识，让我有机会深入半导体工艺制程一线工作，能真正有机会把半导体理论知识与实际应用相结合，在SMIC工作所积累的知识是我半导体职业生涯的基础。

感谢曾经在晶门科技（深圳）有限公司的领导和同事，特别是我的领导Alex Ng，您除了给我提供在晶门科技工作的机会，让我得以在工艺制程、版图物理验证、闩锁效应和ESD电路设计等方面发展，让我有机会负责整个公司的闩锁效应方面的工作，并有机会系统地建立一套与工程应用相结合的闩锁效应设计规则和可执行的物理验证检查脚本，在晶门科技工作所积累的知识是本书成书的关键。也要感谢一起共事的其他领导和同事，Andrew Ng、Barry Ng、Felix Lee、Ivan Chung、James Yam、KK leung、WC Chan、陈宁、顾湘屏、江瑞雪、林锋、刘勇杰、刘鸣凯、李秋贤、谭圳怡、吴木金、许尊杰、谢永宜、颜全、周惠，卓立文、张加秀和张睿军，感谢你们在工作中给我提供过指导和帮助。

感谢我所有的朋友和同学，特别是毕杰、董洁琼、何滇、姜绍达、吕潇、刘胜厚、娄永乐、孟超、邵要华、汤立奇、王彦龙、晏莎莎、占世武和张海涛，感谢你们在我编写此书的时候提供了大量宝贵的意见和建议。吕潇是本书的出版负责人，无论是在该书的编写阶段还是到最后的校对阶段，你都提出了很多宝贵的意见和建议。感谢你们为本书所付出的辛劳和汗水。

特别感谢我的家人，特别是我的妻子邓欣怡和我的孩子温天楚，感谢你们全力支持我的工作和生活，使我有时间编写完成这本书。也要感谢我的父母和其他家庭成员，是你们默默的支持和鼓励，让我有信心和毅力写完这本书。

温德通

2020年2月