前言

先进干涉检测技术是将经典的干涉系统与当前各种新颖的光电子器件及机电系统、高速发展的计算机技术紧密结合，从而实现目标信息多参数三维空间高精度检测的综合性技术。其在国防及国民经济、微电子、材料及生物医学各领域都有着广泛的应用。

本书以光的干涉、衍射、偏振及电磁波理论为基础，系统全面地介绍了各种先进干涉技术及应用。全书内容共分10章。第1章光及光的干涉，阐述了光的特性及光干涉的基本概念；第2章常见干涉仪，介绍了一些最基础及常用的干涉仪；第3章共路干涉仪，简要介绍了散射板、剪切干涉及点衍射等共路型的干涉仪；第4章非球面检测技术，系统地介绍了非球面的基本概念、非球面的零位与非零位检测及各种新颖的波前重构算法；第5章精密长度及振动测量干涉体系，全面介绍了激光干涉测长、测振系统的工作原理、外差测长技术及纳米测试技术中的谐振增强技术；第6章干涉相位调制及解调技术，系统介绍了各种新颖的、商用化的干涉仪的相移技术、时间相位调制、空间相位调制及偏振相移技术等；第7章干涉系统应用中的精密扫描与定位系统，介绍了干涉检测中常用的压电晶体及其性质、各种新颖的压电晶体在精密干涉移相、扫描定位及纳米检测中的应用；第8章新型干涉仪，系统介绍了光纤干涉仪、双光子干涉仪、全息干涉仪等新颖干涉仪；第9章干涉光谱技术，介绍了光谱技术的发展及分类、F-P干涉仪、干涉成像光谱仪、高光谱分辨率激光雷达滤光器等光谱技术；第10章干涉图分析中的关键技术，系统地介绍了典型干涉图及表达方法、干涉图预处理、相位解调、解包裹处理、正交多项式拟合等波前重构的算法。全书理论分析严谨、实例新颖丰富，汇集了作者数十年科研成果及教学经验。

本书列入浙江大学光电学院与浙江大学出版社联合多所高校进行优秀教材系列化建设的“高等院校光电类专业系列规划教材”，可以作为光学、光电信息工程、光电检测及干涉计量的大专院校本科生、研究生的专业课教材，也是相关科研单位专业人员的科研参考书。

本书由浙江大学杨甬英教授等编撰，其中密歇根大学田超博士后编撰了第8、10章。张磊、凌瞳、陈晓钰、师途、成中涛、罗敬、王晨、周雨迪、种诗尧、李瑶、岳秀梅诸位博士参与了大量的资料收集、整理及编撰的相关工作，师途博士进行了教材初稿至定稿的整理和联络。各位为教材的顺利完稿做出了贡献，在此表示衷心的感谢。

由于作者水平有限，书中难免存在不妥或疏漏之处，诚请各位专家和读者批评指正。

杨甬英

2017年5月于求是园