第66章 芯片实验
早上七点半，路芒觉得自己起的已经够早了，毕竟他高三的时候也就这个点起床了。
只是让他没有想到的是，这个点，在工厂的前面，程铭竟然已经等在了工厂门口了。
这让路芒咯噔一下，让人等这么久可是有些不太好，他赶紧上前几步。
“程教授，程教授，你怎么这么早就过来了，等了很久了吧？”路芒说道。
程铭笑着摆了摆手：“没事，没事，也没多久。”
路芒当然不会相信程铭这句话，一看这程铭的样子就是已经等了些许时间了。
刚才他到厂门口的时候，都看见程铭在厂门口转圈了，显然是等着有些无聊了，怎么可能是刚到的样子。
“程教授，你直接打我电话就好了，我接到就会过来的呀！”路芒略微有些急促地说道，让程铭在门口等了这么久，显然有些不符合他的处事原则。
程铭拍了拍衣服，将眼镜扶正，说道：“我过来已经是打扰你了，也没有等多久，不用放在心上。”
说完，他从手提包中拿出了一张纸条递给了路芒。
路芒接过来一看，是一张检测报告单。
上面下达的结论是，按照鉴别Ⅰ的方法进行检测，该光刻设备精度达到14nm制程。
这是一张没有任何人签名的检测报告单，意味着这张报告单是没有任何法律效应的。
“额，程教授，这是？”路芒有些疑惑地问道。
程铭润了一下嘴唇，看着左右也没有人，说道：“路老师，这是我们实验室对你那块晶圆检测之后得到的结论。”
“从晶圆的雕刻水准来看，应该是达到了14nm的水准，不过由于上面是世界地图，没办法通电检测。”
“路老师，请问这片晶圆真的是这边工厂做出来的么？”
路芒心中一下就清楚了，原来如此。
对于他这块晶圆上的雕刻精度，他是一清二楚的，不过当时程铭似乎对他组装的光刻机没有太大兴趣，所以他在后面也就一直也没怎么提。
“程教授，这确实是出自我自己装的那台光刻机中，你这次来是想看一看我那台光刻机么？”
见路芒提起，程铭也不多说废话了：“对，我确实是为了这台光刻机而来的，请问，你那个光刻机是不是已经来到了14nm的制程？”
“这对夏国很重要，我们目前最缺的就是能制作这个档次芯片的设备。”
“14nm的制程已经足够目前市场使用，虽然比不上那些高端芯片，但至少不会因为芯片断供而出现民生问题。”
“所以，请问，您的光刻机，是不是已经达到了14nm的极紫外光等级！”
看着期待的程铭，路芒却是缓缓摇了摇头：“不是的，我那台光刻机仍然没有达到极紫外光，是深紫外光光刻机。”
闻言，程铭有些失望了，目前夏国在DUV光刻机上还是有技术储备的，并且成功用其制作了28nm制程的芯片，良品率不错，并不算缺。
如果路芒这边的不是EUV，而是DUV，那价值就差了不止一筹，不，应该说一半都不足。
不过，一会后，程铭就释然了，如果路芒能做EUV光刻机，那又何必另辟蹊径去搞光刻厂呢。
光刻厂的投资可是比传统光刻要高多了。
“原来如此，看起来是我们的实验室仪器精度差了一点，出了些偏差。”程铭叹了口气，如此说道。
路芒挠了挠脑袋：“程教授，虽然我做的确实是DUV光刻机，但制程上完全可以做到14nm，甚至可以勉强做到5nm，就是一块晶圆可能就能刻不出几块良品就是了。”
“……”程铭看着路芒，半晌没有回话，峰回路转之下，他被惊住了，如果是换个人和他说用DUV可以刻出5nm的电路，他直接一巴掌甩过去，看看是不是得癔症了。
但现在说话的人确实在前两天送了一块在他们实验室测出来能达到14nm精度的晶圆。
这就有意思了。
他潜意识里是有点相信路芒的话的。
路芒见程铭愣在那，知道是自己的话有点惊世骇俗。
用DUV确实是可以做到7nm，不过良品率是一方面，另一方面是多重曝光技术也是封锁的一环。
目前夏国能做到的顶多也就是利用目前掌握的多重曝光技术制作的14nm。
至于7nm，就是还没有攻克，且一直在想办法的技术之一了。
自己这陡然说出用DUV做出5nm的精度，确实是有些吓人。
“不如，我们直接上手试试吧。”
程铭摩擦了自己的胡茬几下，从手提包中又拿出了一份芯片图纸出来？
“不如我们直接试试做芯片电路吧。”
“这是我们实验室设计的14nm芯片的电路图，苦于没有合适的设备可以加工，要不你这给我们试试？”
路芒当然是满口答应，这不费什么事，就连晶圆都是沙子搞得，也就是耗电量比较大。
不过因为他这个厂子的特性，供电公司给他这边开出的电费基本和民用电差不多，所以其实也还算便宜。
路芒当然看不懂芯片电路。
他大概给程铭介绍了一下机器的编程方式以及使用方式，就退到一边，看程铭的表演了。
程铭看了看自己所在的无尘间，外面看起来就是个板房，他倒是没想到里面竟然是一个无尘等级这么高的实验室。
这让他对于这台机器的性能，信心大增。
他在电脑上一通操作，虽然是第一次使用，不过路芒这台机器的软件也是特意编辑的，不算复杂。
对于用过相关软件的程铭来说，还算简单。
很快，也不是很快，其实已经过了七八个小时。
路芒算是明白了为什么研究人员会得胃病了，七八个小时，程铭就没停过，也不吃饭，一直在敲键盘。
不过，终于，这加工程序还是出现在了光刻机的内存中。
晶圆被送入光刻机。
紫外光源启动，开始工作。
DUV是193nm，事实上这种光源不算难弄，常用的紫外分光光度计中最低一般也可以到190nm。
而就是这台193nm的光刻机，即将让程铭欣喜万分。