制冷红外焦平面探测器技术
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1.2 制冷红外焦平面探测器结构

1.2.1 探测器组成

制冷红外焦平面探测器主要由红外焦平面芯片(红外焦平面阵列和读出电路)、制冷机和杜瓦等部分构成。红外焦平面芯片主要实现从红外辐射到电信号的转换,制冷机提供深低温(60~150K)工作环境;杜瓦则保证高真空的工作环境。制冷红外焦平面探测器的研制涉及材料、红外焦平面芯片、真空封装、制冷机等多个领域,是极其复杂的系统工程。

以某型号中波制冷红外焦平面探测器为例,该产品主要由中心距为15μm的中波640× 512 MCT红外焦平面阵列、640×512 CMOS读出电路、金属杜瓦和RS058旋转整体式斯特林制冷机等部分组成,具有3.7~4.8μm的中波红外响应功能,主要用于夜视装备、周视搜索、热像观瞄、前视预警、武器导引、防空监视、红外识别等。图1-6和图1-7分别是该产品组成和实物图。

图1-6 某型号中波制冷红外焦平面探测器组成

图1-7 某型号中波制冷红外焦平面探测器实物图