硅基MEMS制造技术
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“集成电路系列丛书”编委会

主 编:王阳元

副主编:李树深  吴汉明  周子学  刁石京

    许宁生  黄 如  丁文武  魏少军

    赵海军  毕克允  叶甜春  杨德仁

    郝 跃  张汝京  王永文