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1.5.2 卷对卷转移
卷对卷转移工艺示意图如图1.10所示[205],用CVD法得到同样的石墨烯/铜箔之后,将石墨烯一面与专门的热释放胶带(PVC、PET等材质)胶面对齐,利用塑封机滚轮的加热、压合效应,将石墨烯/铜箔与胶带紧密压合。接下来,使用化学腐蚀液体将铜箔腐蚀,最终将石墨烯转移到胶带上。
首先,由于热释放胶带具有一定的韧性及厚度,所以这种转移到柔性衬底上的石墨烯十分适合应用在具有弯曲表面、共形结构上;其次,卷对卷工艺只有腐蚀铜箔环节耗时较长,整套流程效率仍然较高;除此之外,卷对卷压合几乎不受尺寸限制,因此能够转移超大尺度的石墨烯。总之,卷对卷转移石墨烯方法能够达到大批量、流水线式的工艺水准。
图1.10 卷对卷转移石墨烯方法,用塑封机热压方法将附着单层/多层石墨烯的铜箔/镍箔与特质的PVC胶带紧密压合,再将金属箔腐蚀,使石墨烯转移到PVC柔性衬底上[205]