2 术语
2.0.1 微振动 micro-vibration
影响精密设备及仪器正常运行的振动幅值较低的环境振动。
人类的生产活动绝大多数是在地球上进行的，而在地球上找不到一个地方是没有振动的，但经常强烈的振动是极少的，大量的是微小的振动，其振幅大多数在几微米以下。这些微小的振动足以影响精密设备及仪器的正常运行，因而研究与控制地球表面的环境振动极为重要。
地球表面的环境振动分为两大类，即地面脉动和人类活动的近距离干扰振动。
地球脉动是一种随机振动波，具有较低的振动频率，按其形成的因素，又可分为自然因素形成的第一类地面脉动和人为因素形成的第二类地面脉动。第一类地面脉动主要由风暴、台风、海浪击岸、高压气流及冷热空气团交汇所形成。其振动频率为0.1Hz～0.5Hz，甚至更低，振幅为0.1μm～10μm，且随季节不同而变化（冬季振幅较大，夏季较小）。第二类地面脉动主要由位于较远端的交通运输、厂矿机械及人员活动造成。其振动频率一般大于2Hz，振幅为0.001μm～10μm。第二类地面脉动的振动频率及振幅不仅与振源有关，而且与地质有密切关系。在坚硬的岩层上，振动频率较高，振幅较小，而在一般的土壤层上则相反。
人类活动的干扰振动分线振源振动及点振源振动两种。线振源振动如火车、汽车、拖拉机在道路上行驶及飞机在跑道上起降产生的振动；点振源振动如锻锤、压缩机、冲床、通风机、风动工具等机械运动时产生的振动等。这类振动有较宽的振动频率及较大的振幅，对近距离的影响远较地面脉动值大。
本条定义的微振动是由上述两大类振动对特定地点的影响，即该特定地点的环境振动是由多个振源影响的叠加，其振动幅值较低，但可能影响精密设备及仪器的正常运行。
2.0.2 容许振动值 allowable value of vibration
保证精密设备及仪器能正常运行的支承结构处的最大振动量值。
2.0.3 建筑结构防微振体系 structural microvibration control system
为保证精密设备及仪器正常运行，对建筑结构采取减弱环境振动影响的综合措施。
2.0.4 主动隔振 active vibration isolation
为减小动力设备产生的振动对外界环境的影响而对其采取的隔振措施。
2.0.5 被动隔振 passive vibration isolation
为减小环境振动对精密设备及仪器的影响而对其采取的隔振措施。
2.0.6 主动控制隔振装置 active vibration isolating device
具有预先设置并通过自身反馈系统获取信号，使隔振装置实时施加反向作用而降低环境振动影响，保证设备正常工作的装置。
2.0.7 隔振器 vibration isolator
具有衰减振动功能的支承元件。
2.0.8 隔振装置 vibration isolation mounting
由隔振器、阻尼器、调节阀、控制器及信号处理器等组成的隔振组合体。
2.0.9 隔振系统 vibration isolation system
由被隔振对象、台板、隔振器或隔振装置组成的系统。
2.0.10 振动响应 vibration response
建筑结构或隔振系统受振动作用时，其输出的振动位移、振动速度、振动加速度等。
2.0.11 环境振动 environment vibration
建筑场地或建筑物在内外各种振源影响下的振动。
2.0.12 常时微动 usual environmental micro-vibration
无明确振源的场地或建筑物的微弱振动。
2.0.13 防微振墙 microvibration isolation wall
在建筑结构中设置的减弱振动影响的墙体。
本条定义防微振墙的结构形式按本规范第6.2.3条的防微振工艺设备层平台的结构而定，一般为钢筋混凝土墙体，也有采用约束砌体墙或型钢混凝土墙的。但约束砌体墙的刚度受构造设计及施工质量因素的影响，较难准确确定。
2.0.14 华夫板 waffle slab
垂直单向流洁净室生产层现浇钢筋混凝土多孔楼板。
2.0.15 防微振设计 anti-microvibration design
为将环境振动影响控制在精密设备及仪器容许振动值范围内，在工程设计规划、建筑结构设计与隔振设计等方面采取的综合措施。
2.0.16 防微振基台 anti-microvibration table
由台板和支承结构组成的有隔振作用的结构体系，支承结构可为建筑结构或独立设置的梁、板、柱及基础，在台板和支承结构之间可安装隔振器或隔振装置。