MEMS的设计流程主要包括系统设计、器件设计、工艺设计和版图设计。第一种“Top-down”设计流程和第二种“Top-down”设计流程分别如图2-2和图2-3所示。
图2-2 第一种“Top-down”设计流程
图2-3 第二种“Top-down”设计流程
