4.2　洁净室（区）环境监控设计

4.2.1　根据工艺要求，应对洁净室（区）的空气参数进行监视、测量和记录。

4.2.2　洁净室（区）的监控系统与净化空调的监控系统宜合用，或采用通信的方式进行数据共享。

4.2.3　多个洁净室（区）采用一套监控系统时，应根据最严格的洁净室（区）的温度和湿度要求选择控制系统的精度。

4.2.4　洁净室（区）内外的压差检测，宜采用压差变送器监测。

4.2.5　洁净室（区）安装有过滤器时，宜具有过滤器压差报警功能。

4.2.6　传感器宜对化学物质沉积采取防护措施或具备自洁功能。