5.2　陶瓷基板预处理工艺设备

5.2.1　陶瓷基板预处理主要设备应包括清洗设备、烘干设备和预处理烧结炉。

5.2.2　当选用超声清洗机时，其功率应可调节。

5.2.3　预处理烧结炉最高温度应大于900℃。