第173章 改造光刻机

投影式光刻机，最重要的就是掩膜版的制作，掩膜版制作完成，工作就算是完成了大半。

不过由于多层次立体晶体管架构的特殊性，掩膜版并不止一块，而是多块多层次，分别进行曝光，才能完成。

多块掩膜版...