水准仪是在17—18世纪发明了望远镜和水准器后出现的,20世纪初在制出内调焦望远镜和符合水准器的基础上生产出了微倾水准仪,20世纪50年代初出现了自动安平水准仪,20世纪60年代出现了激光水准仪,20世纪90年代出现了数字水准仪。水准仪是建立水平视线测定地面两点间高差的仪器,主要部件有望远镜、管水准器(或补偿器)、竖轴、基座、脚螺旋。按结构分为微倾水准仪、自动安平水准仪、激光水准仪和电子水准仪(又称数字水准仪);按精度分为精密水准仪和普通水准仪。