第三节　多晶制绒操作工艺

1.准备工作

①穿戴好工作衣帽、防护口罩和干净的橡胶手套。

②操作员打开包装，查看规格、电阻率、厚度、单多晶、厂家、编号是否符合要求。

③操作员检查硅片是否有崩边、裂纹、针孔、缺角、油污、划痕、凹痕；如来料有问题，需及时报告品管员；对原硅裂片，放片员需用胶带粘好，统一交还给车间小仓库管理员。

2.开机

①操作员打开工艺排风，打开压缩空气阀门，打开设备进水总阀。

②操作员启动设备，打开电源开关按钮，检查设备是否正常运转，检查导轮上是否有碎片。图2-4为Rena清洗设备。

3.供液

①操作员准备好防护服、防毒面具、防酸手套，未佩戴防护用具的人员不可进行任何换液操作流程。换液时，工序长需监督确认每一步操作流程。

②操作员佩戴好防护用品后，检查化学桶上的标签，是否为所需要更换的化学品，然后将化学品桶的抽液口与回流口正确放置，使其在回流管与抽液管正下方。

③工序长检查显示屏，将“启用”状态切换为“停止”状态，才可以进行换液操作。

④操作员拧下抽液管和桶的连接阀，用螺丝刀拧开新药品桶抽液口的盖子，将连接阀连接至新的药品桶，并且拧紧，然后打开新药品桶的回流口盖子，将回流管从空桶中抽出，插入新药桶的回流口；将空药桶拿出，关闭换液门。

⑤工序长检查显示屏，单击“液体复位”，再将“停止”状态切换为“启用”状态。

⑥工序长准确填写“一次清洗换液记录表”。

4.换液

①工序长将设备“自动”转换为“手动”，点击“废液排放”。

②观察PC柜电脑画面，工作槽内液体排完后会自动停止。

③工序长单击“槽体清洗”，清洗结束后会自动停止。

④点击“废液排放”，排放槽内液体。

⑤最后将槽体内碎片和残留化学品清理干净。

5.生产

（1）上料

放片员从硅片盒中将硅片取出，检查四边有无崩边、缺角、破损等不良现象。将硅片从中间分开，减少黏片概率，操作如图2-5所示。将硅片放到上料机台的上料盒中，注意线痕方向一般与滚轮运行方向垂直，硅片上料方向如图2-6所示。

（2）运行

硅片由传送带送入制绒机内部，依次经过7个槽位，分别是：制绒→水洗1→碱洗→水洗2→酸洗→水洗3→干燥。操作员在设备自动运行过程中，不能离开，需时刻监视设备运行情况。这里制绒的正面是硅片的下表面。链式制绒机内部槽位安排如表2-4所示。

（3）收片

传送带将制绒后的硅片送出插入片盒，出料台如图2-7所示。下料员及时取走插满的片盒，放上空片盒。取片盒前在片盒底部与硅片间放入一张白纸，防止手指污染绒面。当下料插片发生卡片时，传送台可将硅片放入备用片盒，操作如图2-8所示。

下料员每次取片盒时要检查硅片有无崩边、缺角、破损、发亮、未吹干、药液残留等异常现象，及时报告工序长、品管员、工艺员，共同解决。对绒面质量合格的硅片，从传递窗送到扩散工序。

（4）自检

①在制绒完成后，工序长和收片员需进行自检，符合工艺、质量要求才能转入下道工序。

②自检标准：外观均匀，无明显滚轮印、指纹印、污渍，无药液水珠残留，无明显发白、发亮的为制绒合格硅片，可以正常往下流。

③操作员每小时抽测4片制绒减重情况，并将相关数据记录在“一次清洗减薄量记录表”中，确定绒面质量合格后，硅片方可流入下道工序。

④不合格制绒硅片需进行隔离，达到工艺质量要求方能流入下道工序。（5）交接班

设备技术员在每个班交班前，及时更换槽的纯水、碱液、酸液，并对此次换液进行相应的记录。

6.工艺卫生要求

①绝对不允许用手直接接触硅片。

②物品和工具定点放置，用过的工具要放回原位，严禁乱放。

7.注意事项

①停做滞留的硅片要用胶带封好箱，标签注明材料批号、供应商和实际数目。

②严格按照工序控制标准检查绒面质量，绒面不合格的硅片要按照规定的程序进行处理。

③操作化学药品时，一定要戴好防护面具和防护手套。

④制绒设备的窗户在不必要时不要打开。机器设备在运行时，不得把头、手伸进机器内，以防造成伤害事故。

⑤对未吹干的硅片严禁流入下道工序。

⑥发生卡片时，先戴好防护用品，并拿水枪反复冲洗，再用气枪吹干。

⑦在正常生产运行过程中，设备出现任何异常或报警，应及时通知设备、工艺、品质人员，生产现场留守1人观察，但禁止操作。