第2章 先进工艺制程技术

随着集成电路制程工艺技术不断发展到纳米级以下，为了不断改善器件的性能，半导体业界不断引入新的先进工艺技术，例如应变硅技术、HKMG技术、FD-SOI和FinFET技术。

通过介绍这些先进的工艺技术的物理机理和工艺实现过程，让广大的读者可以快速地了解这些先进的工艺技术。